Pengembangan cengkam elektrostatik fleksibel dengan elektroda berstruktur pilar-pilar skala mikro

Dhelika, Radon and Nirbito, Wahyu and Saito, Shigeki (2015) Pengembangan cengkam elektrostatik fleksibel dengan elektroda berstruktur pilar-pilar skala mikro. In: Seminar Nasional Tahunan Teknik Mesin Indonesia XIV, 7-8 OKTOBER 2015, BANJARMASIN.

[img]
Preview
Text
MT 63.pdf

Download (538Kb) | Preview

Abstract

Cengkam elektrostatik (electrostatic chuck) merupakan suatu peranti manipulator yang umum dijumpai di industri semikonduktor, terutama untuk mencengkam wafer silikon. Memanfaatkan mekanisme elektrostatik, cengkam elektrostatik menawarkan banyak keunggulan, seperti kemudahan pengaturan gaya penarik dengan mengontrol voltase. Namun, karena gaya penarik berbasis elektrostatik sangat rentan dengan jarak, bila luas permukaan kontak berkurang karena adanya kekasaran pada permukaan benda, maka gaya penarik akan turun secara signifikan. Sebagai solusi, telah muncul ide cengkam elektrostatik dengan elektroda lunak yang didesain menyerupai rambut di kaki cicak agar bisa mencengkam secara fleksibel benda berpermukaan kasar. Makalah ini membahas pengembangan cengkam elektrostatik dengan metode pembuatan mikrofabrikasi. Selembar prototipe telah dibuat dari bahan stainless steel dengan 50 buah elektroda berbentuk pilar persegi panjang berpenampang lintang 100 μm x 50 μm. Pengujian kurva gaya dilakukan dan menunjukkan ketepatan secara kualitatif dengan kurva ideal yang diperoleh dari pemodelan teoretis. Gaya penarik maksimal yang didapat dengan voltase 600 V adalah 343.3 μN. Untuk menguji kelayakan konsep cengkam elektrostatik fleksibel untuk diterapkan di industri, telah dilakukan pula pengukuran parameter lain seperti penurunan gaya. Selanjutnya, demonstrasi juga ditunjukkan dengan memanipulasi (pick-and-place) lembaran aluminium. Kata kunci : Elektrostatik, mikrofabrikasi, elektroda lunak

Item Type: Conference or Workshop Item (Paper)
Subjects: T Technology > TJ Mechanical engineering and machinery
Divisions: Fakultas Teknik > Teknik Mesin
Depositing User: Mr Arief Mirathan - Eka Setya Wijaya
Date Deposited: 18 Jan 2016 07:47
Last Modified: 18 Jan 2016 07:47
URI: http://eprints.unlam.ac.id/id/eprint/772

Actions (login required)

View Item View Item